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2021-06-18
真空設(shè)備檢漏
檢漏就是用一定的手段將示漏物質(zhì)加到被檢設(shè)備或密封裝置器壁的一側(cè)，用儀器或某一方法在另一側(cè)懷疑有泄漏的地方檢測通過漏孔漏出的示漏物質(zhì)，從而達到檢測的目的。檢漏的任務(wù)就是在制造、安裝、調(diào)試過程中，判斷漏與不漏、泄漏率的大小，找出漏孔的位置；在運轉(zhuǎn)使用過程中監(jiān)視系統(tǒng)可能發(fā)生的泄漏及其變化。只要水壓不變，泄漏率大小就不會發(fā)生很大變化，因而可以獲得較為一致的結(jié)果。
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設(shè)備及密封器件的微小漏隙進行定位、定量和定性檢測的專用檢漏儀器。它具有性能穩(wěn)定、靈敏度高、操作簡便，檢測迅速等特點，是在真空檢漏技術(shù)中用得普遍的檢漏儀器，
其測量工作原理如下。氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理制成的磁偏轉(zhuǎn)型的質(zhì)譜分析計，用氦氣作為示漏檢測氣體制成的氣密性質(zhì)譜檢漏儀器。其結(jié)構(gòu)主要由進樣系統(tǒng)、離子源、質(zhì)量分析器、收集放大器、冷陰極電離真空計等組成。但是，以氦氣作為示漏氣體，也有一些不足之處，例如橡膠、塑料等有機材料常常會吸收氦氣，在吸收后慢慢地釋放出來。離子源是氣體電離，形成一束具有特定能量的離子。質(zhì)量分析器是一個均勻的磁場空間，不同離子的質(zhì)荷比不同，在磁場中就會按照不同軌道半徑運動而進行分離，在設(shè)計時只讓氦離子飛出分析器的縫隙，打在收集器上。收集放大器收集氦離子流并送入到電流放大器，通過測量離子流就可知漏率。冷陰極電離真空計指示質(zhì)譜室的壓力及用作保護裝置。
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真空設(shè)備檢漏與維修
為什么要檢漏
泄漏和密封相對應(yīng)
很多情況下，我們需要密封住一定的空間，防止氣體或液體在壓力的作用下，流進或流出這個空間。如真空設(shè)備（真空鍍膜機，液晶注入機，PVD，半導(dǎo)體外延等等），需要在真空條件下工作，要求在工作時，空氣不能漏進工作腔體，否則生產(chǎn)不能進行，或者產(chǎn)生次品，浪費人力物力。氫氣檢漏法在制冷、空調(diào)的應(yīng)用和展望今天，在世界各地許多制冷、空調(diào)客戶正在使用各種不同型號的氫氣檢漏儀。另外裝液體或氣體的容器（液壓氣瓶，氧氣瓶，空調(diào)冰箱中的雪種容器等等），要求在容器內(nèi)外存在壓差的情況下，不能有氣體或液體漏出。如果有漏，后果嚴(yán)重，一般會造成有效物資的浪費，如有毒物資、腐蝕性氣體漏出，甚至?xí)劤墒鹿省?
這些對密封性有要求的產(chǎn)品或設(shè)備，在投入使用前，就要先進行檢漏，使用中也要定期進行檢漏檢查。
以上就是為大家介紹的全部內(nèi)容，希望對大家有所幫助。如果您想要了解更多 氫氣檢漏的知識，歡迎撥打圖片上的熱線聯(lián)系我們。
如何判斷真空系統(tǒng)是否存在漏氣，通常采用靜態(tài)升壓法，即把容器抽到一定壓強后，關(guān)閉閥門將被抽容器與泵隔開，若容器漏氣或材料放氣，容器中的壓強將隨時間而上升。它是將泄漏聲音中可聽頻率部分截掉，僅僅使超聲波部分放大，以檢測出泄漏。用真空計每隔一定時間計量一次容器中的壓強，可得出壓強/時間曲線。由于容器的漏氣與出氣情況不同，其曲線也不同
1.直線A
壓強不隨時間變化，說明系統(tǒng)即不漏氣，也不放氣。真空度上不去的原因是泵工作不良。
2.直線B
壓強期初上升很快，而后上升速度漸漸減慢而趨于平衡，這說明容器沒有漏氣。真空度上不去的原因主要是放氣的影響。因為放氣速率隨壓強的升高和時間的延長而降低，故曲線漸趨向于平衡。
3.直線C
是一斜率為ΔP/Δt的直線。這說明只有漏氣而沒有放氣。
4.曲線D
開始壓強上升較快，而后漸漸減慢，后變成斜率為ΔP/Δt的直線。這說明容器即有放氣也有漏氣。曲線D可以認(rèn)為是B和C的疊加。如果出現(xiàn)曲線C和D的情況，則判定系統(tǒng)有漏氣。
